任何事物都有自己的發(fā)展過程從興起到高峰時期, PVD也不例外下面我們來介紹它發(fā)發(fā)展過程.
PVD技術出現(xiàn)于二十世紀七十年代末,制備的薄膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)、很好的耐磨性和化學穩(wěn)定性等優(yōu)點。最初在高速鋼刀具領域的成功應用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視,人們在開發(fā)高性能、高可靠性涂層設備的同時,也在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中進行了更加深入的涂層應用研究。與CVD工藝相比,PVD工藝處理溫度低,在600℃以下時對刀具材料的抗彎強度無影響;薄膜內(nèi)部應力狀態(tài)為壓應力,更適于對硬質(zhì)合金精密復雜刀具的涂層;PVD工藝對環(huán)境無不利影響,符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。目前PVD涂層技術已普遍應用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉(zhuǎn)位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。
PVD技術不僅提高了薄膜與刀具基體材料的結(jié)合強度,涂層成分也由第一代的TiN發(fā)展為TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx、DLC和ta-C等多元復合涂層。
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